微流控芯片制造技术介绍（三）

    3、橡塑制品法

    用光刻和刻蚀的办法先制成阳模（需要安全通道一部分凸起）；浇筑液体的纤维材料，再将固化的纤维材料与阳模脱离，获得具备微通道芯片这类制取微芯片的办法称之为橡塑制品法。橡塑制品法的关键是磨具和高分子材料材料选择，理想化的原材料应彼此之间粘合力小，便于出模。

    微通道的阳膜可以由光伏材料、夹层玻璃、环氧基SU-8负光胶和PDMS等生产制造。硅或夹层玻璃阳膜可采取规范刻蚀技术性。PDMS磨具可以通过立即浇筑于由光伏材料、夹层玻璃等相关材料制成的母模上制得。

    浇筑使用的纤维材料应具备高粘度，低干固温度。在的作用下，可充斥着模板里的微通道和凹形槽等地方。可以用的原材料有两种：干固型高聚物和有机溶剂蒸发型高聚物。

    尽管橡塑制品法受制于纤维材料，但该法简单易行，处理芯片挺大快速复制，并且不必须昂贵机器设备，是一个可以做便宜剖析芯片方式。

    4、注塑加工法

    注塑方法的加工工艺是由光刻和刻蚀技术的应用单晶硅片上刻蚀出电泳原理处理芯片阳模，用其阳模开展24h左右电镀工艺，获得0、5cm粗厚镍基合金模，然后将镍基合金模加厚型，用心生产加工做成金属材料塑料模具，将这一磨具安装于塑料机上大批量生产高聚物生物芯片基片。

    在注塑加工法制作中，模具生产繁杂，技术性要求严格，时间长，是所有加工工艺过程的关键因素。一个好的磨具可制成30~50万多张高聚物处理芯片，可重复性好，生产制造周期时间短，价格低廉，适合于已成形的芯片加工。