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3、橡塑制品法 用光刻和刻蚀的办法先制成阳模(需要安全通道一部分凸起);浇筑液体的纤维材料,再将固化的纤维材料与阳模脱离,获得具备微通道芯片这类制取微芯片的办法称之为橡塑制品法。橡塑制品法的关键是磨具和高分子材料材料选择,理想化的原材料应彼此之间粘合力小,便于出模。 微通道的阳膜可以由光伏材料、夹层玻璃、环氧基SU-8负光胶和PDMS等生产制造。硅或夹层玻璃阳膜可采取规范...
2023-09-19
微流控芯片制造技术介绍: d、曝出 将刚制取好需要处理芯片图形光刻掩膜附着在基片上,用紫外光等通过掩膜对光刻胶开展可选择性直射。受阳光照射的光刻胶发生反应。 在实际工作中,快门速度由光刻膜、胶纸薄厚、灯源抗压强度及其灯源与基片间隔确定。曝出的方法有有机化学曝出、触碰和贴近式打印曝出、光学投影显像曝出。 e、成像 用光胶配套设施显影液根据化学法去掉经曝出的...
2023-09-12
1、光刻和刻蚀技术:半导体材料及集成电路板全过程所使用的光刻及其刻蚀技术性,是生物芯片加工工艺中基本技术手段。该方法选用光刻胶、掩膜和及其紫外线开展精密机械加工,改生产工艺相对比较完善,光刻和刻蚀技术性已广泛运用于硅基、夹层玻璃及其石英石基芯片薄膜光学生产过程中。光刻和刻蚀技术性由薄膜堆积、光刻和刻蚀三个工艺流程构成。繁杂的微流控结构能通过反复多次薄膜堆积-光刻刻蚀三种加工工艺进行。...
2023-09-05
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